真空泵是指通过气体体积变化把空间内的气体抽成密度特小的真空状态的设备，真空泵使用的润滑油就叫真空泵油。按设备抽真空的状态，真空泵可分为机械真空泵和扩散泵。扩散泵使用的润滑油叫扩散油，它不仅是润滑油，还是工作液，其性能要求与用于机械真空泵的润滑油有很大不同。

机械泵泵油的耐腐蚀性需求重点成绩在下类几因素：

1、有合适的粘度，应该为ISO32~150；

2、有低的过剩水蒸气压，就会要有窄的馏分，做到少含轻混合物，也是进口进口真空泵油的具有需要；

3、有品质的热维持性和抗阳极氧化性，这重复于压缩成发动机机油；

4、有好的分水溶性和抗泡沫剂性，这也与减少液压油一样。

向外扩散泵油包括有如下特点的要求：

1、在气液分离器器的温下（约20℃）必须有低的饱和蒸气压才能得到高的真空度；

2、在化掉器的湿度下需有为了大的饱和点水汽压，使真空室泵能在较高的用于出口压强下的工作；

3、有优质的热稳判定性和氧化作用的性，有长的用使用期；

4、还有一些的主要用途还标准要求有好的物理化学安定性和抗扩散特性。